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什么是MEMS技術(shù)?
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是一種技術(shù),其最一般的形式可以定義為使用微加工技術(shù)制造的小型化機(jī)械和機(jī)電元件(即設(shè)備和結(jié)構(gòu))。MEMS技術(shù)傳感器是低成本、高精度的慣性傳感器,可用于各種行業(yè)應(yīng)用。
MEMS或微機(jī)電系統(tǒng)是一種基于芯片的技術(shù),其中傳感器由一對(duì)電容板之間的懸浮質(zhì)量組成。當(dāng)傳感器傾斜時(shí),這種懸浮質(zhì)量會(huì)產(chǎn)生電勢(shì)的差異。然后,產(chǎn)生的差值被測(cè)量為電容的變化。
MEMS技術(shù)的應(yīng)用方向 MEMS是將微傳感器、微驅(qū)動(dòng)器和微電子等技術(shù)集成到單個(gè)微芯片上,這有望成為未來(lái)最重要的技術(shù)突破之一。
MEMS技術(shù)的技術(shù)特點(diǎn) ①優(yōu)勢(shì) MEMS技術(shù)確實(shí)有其自身的一些優(yōu)勢(shì)。MEMS傳感器提供方便的功能,可與所有其他傳感器系列一起使用,而不受任何空間限制。此外,MEMS還利用非常緊湊的微型機(jī)器組件,這些組件非常小巧,每個(gè)MEMS傳感器都可以輕松安裝到您的手掌中。MEMS傳感器具有IP67密封。這是因?yàn)閭鞲衅餍枰軌虺惺?40º至+ 85ºC的極端溫度。大多數(shù)使用MEMS傳感器的行業(yè)都在極端溫度下工作。而且,這種密封使傳感器能夠暫時(shí)浸入淺水中,從而可以監(jiān)控海上和海底的俯仰和滾動(dòng)應(yīng)用。其他電解傳感器可能具有更高的精度,但通常對(duì)溫度更敏感。
這些MEMS傳感器的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是抗沖擊和振動(dòng)。MEMS傳感器在減震環(huán)境中可能不是最持久的,但MEMS傾角計(jì)在10-1000Hz時(shí)具有10grms的抗振性,加速度計(jì)具有100G的抗沖擊性。因此,這些傳感器不能用于軍事應(yīng)用等高度令人震驚的場(chǎng)景,但它們可以承受工業(yè)測(cè)量和控制,鉆井設(shè)備和一些巖土工程監(jiān)測(cè)。
②劣勢(shì) 盡管MEMS傳感技術(shù)很有用,但它們確實(shí)有一些局限性。通常,MEMS傳感器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)具有較大的漂移。對(duì)于那些沒(méi)有溫度補(bǔ)償或加熱能力的人來(lái)說(shuō),這可能是值得關(guān)注的。而且,相對(duì)于其他傳統(tǒng)且更昂貴的傳感器,MEMS傳感器通常具有較低的精度。因此,您應(yīng)該始終確定在購(gòu)買(mǎi)前需要測(cè)量的確切內(nèi)容。MEMS傳感器非常適合不需要最高精度的應(yīng)用,如工業(yè)自動(dòng)化、平臺(tái)調(diào)控、位置控制以及俯仰和滾動(dòng)測(cè)量。這就是為什么MEMS電解傳感器以低成本完美地適用于許多不同的領(lǐng)域。